罗茨泵（bèng）以其发明者的（de）姓名命名，是指泵内装有两个相反方向同步旋转的叶形转子，转子间、转子与泵壳内壁间有细小间隙而互不接触（chù）的一种变容真空（kōng）泵（bèng）。是真空镀膜机获得高真空的（de）主要设备。我们总（zǒng）结了罗茨泵维修中常见（jiàn）的八（bā）个问题，给大家分享（xiǎng）一下，希望大家以后可以（yǐ）避（bì）免出现这些问题。
1、在极限（xiàn）压力下（xià）运（yùn）行
对于（yú）在大差压下运行的罗茨泵，在对其进行冷却前，不建议（yì）将其直接（jiē）置于极限压力下运行。在极限压（yā）力下，由于真空泵转速过快，小或零气体通过量不会通过气（qì）体或外壳表面散发任何热量。由于温度的突然升高，转（zhuǎn）子和外壳（ké）之间的的气隙太小，泵会停止转动（dòng）。在严重情况下，这会导致真空（kōng）泵*失效。
2、不当的温度波动（dòng）
在罗（luó）茨泵维修的过程中（zhōng），我（wǒ）们发现在罗茨泵塞仍然很热的情况下，环境温度突然大幅度下降将会造成泵壳收缩，导（dǎo）致泵停止转动，在极限压力下作业时会尤其重要。因此，必须（xū）不惜一切代价避免（miǎn）环境温度的突变。另外，操作人员一定要注意不（bú）要突然打开（kāi）附（fù）近的百（bǎi）叶（yè）窗、其他门等，特别是在冬天。
另外，对于那些自立式泵，要将其放在屋檐或天蓬下，以免其受到雨淋。如果在发生（shēng）火灾时，将水直接对准泵，泵（bèng）壳可（kě）能会爆炸，尤其是那些由灰口铸铁制作的壳体更容易发生爆炸。球墨铸（zhù）铁版的泵，由于（yú）其材料的较高强度，更适（shì）合于承受这样的热波动。
3、温度控制
如（rú）果将罗茨泵以其大差压运行，则需要在排（pái）气（qì）端安装一个温度传感器，用以防止过热及由此产生的任何损害。这会在限定的温度时产生警报，并且（qiě）当其达到大允许气温时，将会关闭泵（bèng）。
4、快速抽空
在应用中，必须实现几秒钟（zhōng）的（de）抽取周期（qī），因此操（cāo）作人员必须（xū）要确保罗茨泵和前级泵的比（bǐ）例为1：2。保（bǎo）证这一比例非常的必（bì）要，因为前级泵以（yǐ）100hPa压强将空气泵出占用了大部分的泵出时间，而罗茨（cí）泵只需从10hPa起的压力（lì）就可以有（yǒu）效运转。前级泵尺寸必须相应地大一些才行。
5、启动泵
如果使用了多级（jí）泵站或（huò）者多个并行操（cāo）作的真空泵组（zǔ）合，那就有（yǒu）必要以交（jiāo）错的间隔来启动这些泵，要启动的是大气泵，这样可以避免过度的电力峰值以及保护高成本（běn）的断路器。这通过计时（shí）元件可很容易地在控制器（qì）和PLC中实现。还有一种（zhǒng）方法，就是使用一个变频器，缓慢地启动泵。
6、液体侵入（rù）
突然的（de）液体侵入会损坏（huài）泵，因（yīn）为发生急剧冷却时，气体无法达到所需的温（wēn）度来蒸发液体。额外的蒸汽不能（néng）及时泵出，因为前级泵已经超负荷且前级压力可能上升到过高的水平。为防止这种情况的发生，有必要在处理室和罗茨泵（bèng）之间安装一个接（jiē）收器，以使液（yè）体在没进入泵前就被吸收。
7、灰尘堆积
在（zài）会产生（shēng）颗粒或挟带灰尘的工艺过程（chéng）中，如在冶（yě）金或拉晶过程中，有必要在泵的进气口（kǒu）安装一个滤尘器，保（bǎo）护罗（luó）茨（cí）泵和（hé）下游泵（bèng）。应该在罗茨泵的进气口处安装所谓的碎片（piàn）保护网，防止在第一（yī）次使用系统时，由于清洁不当导致有（yǒu）较大固体物（wù）质和焊（hàn）珠从焊（hàn）接接头射出（chū）。在这种情况下，建（jiàn）议（yì）使用泵制造（zào）商的配件，因为设计了碎片保护网，以使其自由截面与泵的公称（chēng）直径相符。s这保证了泵速不会因意外的电导损耗量（liàng）而受到影响。
8、抽取稀有贵重气体
当抽取贵重且纯度较高的气体时，如氦3或氦4，必须不惜一切代价避免这些气体与周围环境空气相接触。此时要求泵体在低于10-5至10-8hPal/s的区域内具有较高的气密性和较低的泄漏率。一些真空泵生（shēng）产商，像普发（fā）真空，能够为（wéi）电机提供永磁（cí）联轴器代替普通的轴馈（kuì）穿件。这（zhè）使所有轴封环（huán）上存在的泄露成为历史。还可以使（shǐ）用封闭式电机，但（dàn）操（cāo）作人（rén）员在维修时必须依赖于（yú）泵生产商，因为这类封闭式电机是专门为该泵而开发的。比如使用磁耦合技术，可以使用具有成（chéng）本效（xiào）益的（de）标准电机。
