TTR911N莱宝真空计参数

产品（pǐn）号:
89654V02 89656V02 89660V02 230700V02 230701V02

TTR 911 N 和 TTR 916 N THERMOVAC 系列真空变送器（qì）可提供从 5×10-5 到 1000 毫巴（bā）的较大测量范围，基（jī）于对 MEMS Pirani 硅芯片传感器上小空腔中的热传导（dǎo）性的测量结果。
配（pèi）备 RS232 数（shù）字通（tōng）信接口 (P/N: 89660V02) 或 EtherCAT 数字通（tōng）信接（jiē）口 (P/N: 230700V02、230701V02) 的变送器版本可设置变送器参数，并可提供实时压（yā）力（lì）测量结果。更多详情，请参阅通信协议 300544663 (RS232) 和 300544664 (EtherCAT)。配备集成（chéng）式触屏显示器 (P/N: 8965402、89656V029) 的变送器版本能够监控（kòng）基本（běn）的变送（sòng）器参数。更（gèng）多详情，请参阅第 6.4 章。
TTR 911 N 和 TTR 916 N THERMOVAC 变送器用途广泛，可用作（zuò）独立装置，或用于 Graphix 控制器 (P/N: 230680V01、230681V01、230682V01) 和 Display 控制器 (P/N: 230001、230024、230025)。 所有 THERMOVAC 变送器均可向下兼容 Graphix、Display 和 Center 控制器（qì）。
每台变送器在出厂前（qián）已逐台进行全（quán）量程（chéng）测试。测试报告随附在包装中。此外，每个变送器压力读数均（jun1）在操作温度（dù）范围内逐一得到温度补偿。
变送器拥有多达三个机（jī）械继电器，这些继电器可用于过程控制，例（lì）如（rú）阀或泵的联锁。模拟电压输出可连接至外部模拟设备，用于获取压力读数，或进行压力控制。
传感器技（jì）术
变送器具备单独的 MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微电子机械系统)) 传感器（qì）元件，元件测量基于热传导性。MEMS Pirani 传感器包含一个带有热电阻元（yuán）件的硅芯片，其构（gòu）成空腔的一个表面。芯片（piàn）顶部的封盖形成空（kōng）腔的另一表面。由（yóu）于传感（gǎn）器的几何形状，空（kōng）腔内无法进行（háng）对流，因此（cǐ），传感器对安装位置并不敏感。通过扩散，气体分子只到达热元件，在此处可测量气体的热损耗。传感器元（yuán）件极为坚固耐用，可承（chéng）受较高重力和瞬间空气涌入。
应用
变送器可用于众多不同领（lǐng）域的真空应用中，如：工业应用、研发（fā）、半（bàn）导体、分析和涂料工业中:
 一般真空压力测量
 前级管道和（hé）粗抽压力测量
 气体回填测量和控制
 质谱（pǔ）仪控制
 启动超高真（zhēn）空电离（lí） (UHV) 规
 系统过程控（kòng）制
 检测异常压力（lì），利用继（jì）电器设定点采取妥当的安（ān）全措施（shī）
 控制系统压（yā）力
P/N: 89656V02 和 230701V02 含有（yǒu） Parylene-HT® 涂层传感器。
Parylene-HT® 是（shì）保形（xíng）涂层，气体阻隔性好，不释气（qì）。与标（biāo）准 MEMS Pirani 相比，Parylene-HT® 涂层传感器对（duì）各种腐（fǔ）蚀性（xìng）气体的耐受（shòu）性更强。涂层覆盖（gài）整个传感器芯片，包括接线。因此，暴露于处理气体的材料只（zhī）有 Parylene-HT® 涂层。

TTR911N莱宝真空（kōng）变送器，莱宝TTR911N真空计