iH1800 幹式（shì）泵 380/415V，50 Hz，3 相（xiàng）

A59040946

技術數據（jù）

峰值速度                1800 m3h-1

                                1060 cfm

                                30000 l min-1

極限真空                1 x 10-3 mbar

                                7.5 x 10-4 Torr

                                0.1 Pa

典（diǎn）型軸封氮流量                4 slm

進氣口連接                ISO160

出口連接                NW40

15 psi 壓降（jiàng）下典型冷卻水流量240 l h-1

                                4 l min-1

重量（liàng）                        502 kg

極限功率輸入                4.1 kW

電機額定功率                7.0 kW

油容量                        1.6 l

功能和優勢

優化了設施消耗。

無（wú）需預防性維（wéi）護。

懸（xuán）臂（bì）軸和特殊的異型轉子便於顆粒的處理。

在節省電機功率的同時大程度提高了工作繁重的 CVD 應用條（tiáo）件下的穩定性（xìng）。

耐腐（fǔ）蝕的製造材料允（yǔn）許泵送腐蝕性氣體。

較高的工作溫度為（wéi）避免氣體冷凝提供了充分的安全保證（zhèng）。

整體式軸杆無需使用電機聯結器，而第五級泵消除了使用消音器的需要並消除了顆（kē）粒堆積，從而降低了總（zǒng）體占地麵積

概（gài）述

Edwards 高級半導體真空泵已經過現場應用證明，可以按照最高（gāo）工作標準運行（háng）。通過延長（zhǎng）使用壽（shòu）命、提高運行時間並提高生（shēng）產率（lǜ），同時（shí）大程度地（dì）減小占地麵積、降低運行成（chéng）本，實（shí）現了高的（de）可靠性和性能。

iH 係列為難以執行的製程（如（rú）存（cún）在微粒、易冷凝和腐蝕性副產（chǎn）品的 PECVD 和 LPCVD 製（zhì）程）提供了高（gāo）可靠（kào）性。

應（yīng）用

負（fù）載鎖

輸送

計（jì）量

平版印刷

PVD 製（zhì）程

PVD 預清潔

RTA

剝離/灰化

刻蝕

植入源

HDP CVD

RTP

SACVD

MCVD

PECVD

LPCVD

ALD

iH1800愛德華（huá）幹泵維修，iH1800愛德華真空泵維護（hù）保養