iH1800愛德華半導體幹泵維修

iH1800 幹式泵 230V，60 Hz，3 相

A59040957

技術數據

峰值速度                1800 m3h-1

                                1060 cfm

                                30000 l min-1

極限真空                1 x 10-3 mbar

                                7.5 x 10-4 Torr

                                0.1 Pa

典型軸封（fēng）氮（dàn）流量                4 slm

進氣口（kǒu）連接                ISO160

出口連接                NW40

15 psi 壓降下典型冷卻水流量240 l h-1

                                4 l min-1

重量                        502 kg

極限功率輸入                4.1 kW

電機額定功率                7.0 kW

油容量                        1.6 l

所有數字（zì）均為無氣鎮時的（de）典（diǎn）型值。

iH1800 幹式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相

A59060945

技術（shù）數據

峰（fēng）值速度（dù）                1800 m3h-1

                                1060 cfm

                                30000 l min-1

極限真空                1 x 10-3 mbar

                                7.5 x 10-4 Torr

                                0.1 Pa

典型軸封氮流量                4 slm

進氣口連（lián）接                ISO160

出口連接（jiē）                NW40

15 psi 壓降下典型冷卻（què）水流量240 l h-1

                                4 l min-1

重量                        502 kg

極限功率輸入                4.1 kW

電機額定功率                7.0 kW

油容量                        1.6 l

所有數字（zì）均為無（wú）氣（qì）鎮時的典型值。

iH1800HTX 幹（gàn）式泵 460V，60 Hz，3 相

A59042908

技術數據

峰值速度                1800 m3h-1

                                1060 cfm

                                30000 l min-1

極限真空                1 x 10-3 mbar

                                7.5 x 10-4 Torr

                                0.1 Pa

典型軸封氮流量（liàng）                4 slm

進氣口連接                ISO160

出口連接                NW40

15 psi 壓（yā）降下典型冷（lěng）卻水流量（liàng）240 l h-1

                                4 l min-1

重量                        502 kg

極限功率輸入                4.1 kW

電機額定功率                7.0 kW

油容量                        1.6 l

所有數字均為無氣鎮時的典型值。

iH1800HTX 幹（gàn）式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相

A59042945

技術數據

峰值速（sù）度                1800 m3h-1

                                1060 cfm

                                30000 l min-1

極限真空                1 x 10-3 mbar

                                7.5 x 10-4 Torr

                                0.1 Pa

典型軸封（fēng）氮（dàn）流（liú）量                4 slm

進氣口連接                ISO160

出口連接                NW40

15 psi 壓降下典型冷卻水流量240 l h-1

                                4 l min-1

重量                     502 kg

極限功率輸入             4.1 kW

電機額定（dìng）功率             7.0 kW

油容量                  1.6 l

所有數字均為無氣鎮時的典型值。

iH1800HTX 幹式泵 380/415V，50 Hz，3 相

A59042946

技術數據 

峰值速度（dù）                   1800 m3h-1

                                1060 cfm

                                30000 l min-1

極限真空                    1 x 10-3 mbar

                                7.5 x 10-4 Torr

                                0.1 Pa

典型（xíng）軸封氮（dàn）流量                4 slm

進氣口連接                ISO160

出口連接（jiē）                NW40

15 psi 壓降下典型冷卻水流量240 l h-1

                                4 l min-1

重（chóng）量                        502 kg

極限功率（lǜ）輸入（rù）                4.1 kW

電機額定功率                7.0 kW

油容量                        1.6 l

所（suǒ）有數字均為無氣鎮時的典型值。

iH1800HTX 幹（gàn）式泵 230V，60 Hz，3 相

A59042957

技術數據

峰值速度                1800 m3h-1

                                1060 cfm

                                30000 l min-1

極限真空                1 x 10-3 mbar

                                7.5 x 10-4 Torr

                                0.1 Pa

典型軸封氮流（liú）量                4 slm

進（jìn）氣口連接                ISO160

出（chū）口連（lián）接                NW40

15 psi 壓降下典型冷（lěng）卻水流量240 l h-1

                                4 l min-1

重量                    502 kg

極限功（gōng）率輸入            4.1 kW

電機額定功率                   7.0 kW

油容量                       1.6 l

所有數字均為無氣鎮時的典型值。

iH1800HTX 幹式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相

A59062945

技（jì）術數（shù）據

峰值速度                   1800 m3h-1

                                1060 cfm

                                30000 l min-1

極限真空                1 x 10-3 mbar

                                7.5 x 10-4 Torr

                                0.1 Pa

典型軸封氮流量                4 slm

進氣口連接                ISO160

出口連接                NW40

15 psi 壓降下典（diǎn）型冷卻水流量240 l h-1

                                4 l min-1

重量                         502 kg

極限功率（lǜ）輸入             4.1 kW

電（diàn）機額（é）定（dìng）功率              7.0 kW

油容量                        1.6 l

所（suǒ）有數字均為無氣鎮時的典型值。

通（tōng）過（guò）增加正常運行時間（jiān）、減少對環境的影響以及良好的（de）成本效益，iXM 低能耗幹泵可為您的關（guān）鍵應用帶來真正的（de）製程改進。

高效的根源機（jī）製可將輸入功率減少多達（dá） 60％，從而減少對環境的（de）影響並降低總體使用成本

氣（qì）體阻隔（gé）技術和隔熱設計方麵的改進使產品的（de）抗腐（fǔ）蝕性比我們（men）之前的係列提高了四倍

先進的粉塵（chén）處理功能可為多層蝕刻工藝提供更高的（de）可靠性，延長真空泵使用壽命，並降低 CVD 工藝的功耗

緊（jǐn）湊輕巧的設計，加（jiā）上極低的（de）噪聲和振（zhèn）動，可提供更多的用（yòng）途

采用 Xcede 技術，增強了耐（nài）腐蝕性。

半導體幹泵用（yòng）於重型應（yīng）用的 iXH 係列

iXH 幹泵係（xì）列為嚴苛的工藝能力、可靠性和更低的擁有成本樹立（lì）了新標準（zhǔn）。

寬廣的（de）溫（wēn）度範圍使您可（kě）以對真空設備進（jìn）行優化，更大（dà）地減少冷凝（níng）和電鍍的（de）副產（chǎn）物（wù）累（lèi）積

iXH Mk2 幹泵可在（zài）嚴苛的工藝中提供更長的使用壽命，並（bìng）且可以顯著提高功效

創新的密封技術可以延長製程壽命並降低泄漏風險

采用 Xcede 技術，增強了耐（nài）腐蝕（shí）性。

iH1800愛德華半導體（tǐ）幹泵維修