真空泵是一种用于制造、研究（jiū）和分析高真空环境的设备，它起到将气体（tǐ）从一个封闭空间中抽出的作用。真空泵的主要原理是通过使泵室内的气（qì）体分子（zǐ）在（zài）泵壳壁上碰撞、吸附和扩散（sàn）的作用下，逐渐降低泵室内的气体压力，达到一定的真（zhēn）空度（dù）。一（yī）般情况下，真空泵（bèng）采用机械泵、分子泵、扩散（sàn）泵等多种方式进（jìn）行真空抽取。

　　随着真空应用（yòng）的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零（líng）点（diǎn）几（jǐ）升到（dào）每秒几十万、数百万升。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用（yòng）压强（qiáng）范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空（kōng）泵组成（chéng）真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，由于真空应用部（bù）门所涉（shè）及的工作压力的范（fàn）围很宽，因此任（rèn）何一种类型的真空泵都不可能适用（yòng）于所有的工作压力范围，只能根据（jù）不（bú）同的工（gōng）作压力范围和不同的工（gōng）作要求，使用不同类型的真空泵。为（wéi）了使用方便和各种真空工艺（yì）过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起（qǐ）来，以机（jī）组型式应用。

　　常见的真空泵故障有以下几种：

　　1.泵体温度升高，散（sàn）热不良。润滑（huá）油不足或混水。

　　解决方（fāng）法：检查或更换润滑油，将散热（rè）器清洗干净，减少摩擦造成的热量。

　　2.泵室（shì）漏气现象。泵室密封圈损坏或泵室内部（bù）零件松脱。

　　解决方（fāng）法：更换泵室密封圈（quān）或紧固松动的零件，加强检查（chá），确保泵室内部密封良好。

　　3.真空度下降。进气口卡垢或泵室密封圈老化开裂。

　　解决方法：清洗进气口或者更换密封圈，加强防尘措施。

　　4.泵机异响（xiǎng）或运行不平稳。机械（xiè）部件磨损（sǔn）或输出轴不平衡（héng）。

　　解（jiě）决方法：更换磨损的机械元件或输出轴，精（jīng）调输出轴的平衡状态。