凍幹機EH2600愛德華真空羅茨泵維（wéi）修

凍幹機EH2600愛德（dé）華真空羅茨泵維修

半導體加工（gōng）
我們繼續革新技術解決方案，這些解決方案將會提升製程正常運轉時間、產量、吞（tūn）吐量與安全認證水平，同時通過減輕（qīng）不利於環境的排放、延長產品使用壽命並降低持續服務成本，努（nǔ）力協調平衡往往相互衝突的更低擁有成本要求。

所有居於地位的製程工具 OEM，以及世界每（měi）一家（jiā）主要半導體工廠都采用了我們的係統，因為它們（men）能夠滿足成熟製程（chéng）與發展中製程的具體要求。提供幹式真（zhēn）空泵、渦（wō）輪分子泵與使用點減排係統等各種係（xì）統，用來優化從輕負荷製程到超重負荷（hé）製程的各項應用的性能表現。

應用

●真空冶金加工
●薄膜覆（fù）層技術
●製藥冷凍幹燥
●冷凍和空調係統抽空、幹燥和回填
●變（biàn）壓器和電纜幹燥及浸漬、絕緣油處理工廠
●燈具製造
●低溫容（róng）器抽空
●化（huà）工行業（yè）中的真空幹燥和蒸餾
●半（bàn）導（dǎo）體設備製造
●用於高真空應用的前（qián）級泵

潔淨的真空
腔體內沒有潤滑油，對（duì）水蒸氣、溶劑等氣體也有穩定的（de）排氣（qì）性能。
能在高吸入壓強下運作
選用比標準電機容量大一級的電機，即可實現在高吸入壓強下的運作。

用途
•  照明、電子、光學（xué）、半導體。
•  鍍膜、濺射、離子鍍、液晶注入。
•  真（zhēn）空幹燥、冷凍幹燥、真空脫氣。
•  真空熱處理爐、燒結爐、釺焊爐。
•  分析儀器、檢漏設備、CO2激光設備（bèi）。

凍幹（gàn）機EH2600愛德華（huá）真空羅茨（cí）泵維修