TTR91N萊寶真空計參數

TTR 91 N 和 TTR 96 N THERMOVAC 係列真空變送器可（kě）提供從 5×10-5 到 1000 毫巴的較大測量範圍，基於對 MEMS Pirani 矽芯片傳感器（qì）上小空腔中的熱傳導性的測（cè）量結果。
TTR 91 N 和 TTR 96 N THERMOVAC 變送器（qì）用途廣泛，可用（yòng）作獨立裝置，或用於 Graphix 控製器 (P/N: 230680V01、230681V01、230682V01) 和 Display 控製器 (P/N: 230001、230024、230025)。所有 THERMOVAC 變送器均可向下兼容 Graphix、Display 和 Center 控製器。
每台變送器在出廠前（qián）已逐台進行（háng）全量（liàng）程（chéng）測試。測試報告隨附在包裝中。此（cǐ）外，每個變送器（qì）壓力讀數均在操作（zuò）溫度範圍內逐一得（dé）到溫度補償。
變送器擁有（yǒu）多達（dá）三個機械（xiè）繼（jì）電器，這些繼電器可用於過（guò）程控製，例（lì）如閥或（huò）泵的（de）聯鎖。模（mó）擬電壓輸出可連（lián）接至（zhì）外部模擬設備，用於獲取壓力讀數，或進行壓力控製。
傳（chuán）感器技術
變送器具備單獨的 MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微電子機械係（xì）統)) 傳感器 元件，元件測量基於熱傳（chuán）導性的測量。MEMS Pirani 傳感器包含一個帶有熱電（diàn）阻（zǔ）元件的矽芯片，其構成空腔的一個表麵。芯片頂部的封蓋（gài）形成空腔的另一表麵（miàn）。由於傳感器的幾何形狀，空腔（qiāng）內無法進行對流（liú），因此，傳感器對安裝位置並（bìng）不敏感。通過擴散，氣體分子隻到（dào）達（dá）熱元件，在此處可測量氣體的熱損耗。傳感器元（yuán）件極為堅固耐用，可（kě）承受較高重力和瞬間空（kōng）氣湧入。
應用
變送器可用於眾多不同領域的真空應用中，如：工業應用、研發、半導體、分析和塗料工業中:
 一般真空壓力測量
 前級管道和（hé）粗（cū）抽（chōu）壓力測量
 氣體回填（tián）測量和控製
 質譜儀控製
 啟動超高真空電離 (UHV) 規（guī）
 係（xì）統過程控（kòng）製
 檢測異常壓力（lì），利用繼電（diàn）器設定點采（cǎi）取妥當的安（ān）全措施
 控製（zhì）係統壓力
P/N: 230045V02 和 230047V02 含有 Parylene-HT® 塗層傳感器。 

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