萊寶真空計TTR96N真（zhēn）空規管參數

TTR96N萊（lái）寶（bǎo）真空規管，TTR96N萊寶真空計

TTR 91 N 和 TTR 96 N THERMOVAC 係列真空變送器可提供從 5×10-5 到 1000 毫巴的較大測量範圍，基於對 MEMS Pirani 矽（guī）芯片（piàn）傳（chuán）感器上小空（kōng）腔中的熱傳導性（xìng）的測量結果。
TTR 91 N 和 TTR 96 N THERMOVAC 變送器用途廣泛，可（kě）用作獨立裝置，或用於 Graphix 控製器 (P/N: 230680V01、230681V01、230682V01) 和 Display 控（kòng）製器 (P/N: 230001、230024、230025)。所有 THERMOVAC 變送器（qì）均可向下兼容 Graphix、Display 和 Center 控製器。
每台變送器在出廠（chǎng）前已逐台（tái）進行全（quán）量程測試。測試報告隨附在包裝中。此外，每個變送器壓力讀數均在操作溫度範圍內逐（zhú）一得到（dào）溫度補（bǔ）償。
變送器擁有多達三個機（jī）械繼電器（qì），這些繼電器可用於過程控製（zhì），例如閥或泵的聯鎖。模擬電壓輸出可連接（jiē）至外部模擬設備，用於（yú）獲取（qǔ）壓力讀數，或進行壓力控（kòng）製。
傳（chuán）感器技術
變送器具備單（dān）獨的 MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微電子機械係統（tǒng）)) 傳感器 元件，元件測量基於熱傳導性的測量。MEMS Pirani 傳感器包（bāo）含一個帶有熱電阻元件的矽芯片，其構成空腔的（de）一個表（biǎo）麵。芯片頂（dǐng）部的封蓋形成空腔的另一表麵。由於傳感器的（de）幾何形狀，空腔內無法進行對（duì）流，因此，傳感器對安裝位置並不（bú）敏感。通過擴散，氣體分子隻到達熱元（yuán）件，在此處可測量（liàng）氣體的熱損耗。傳感（gǎn）器元件極為堅固耐用，可承受較高重力和瞬間空氣湧入。
應用（yòng）
變送器可用於眾多不同領域的真空應用（yòng）中（zhōng），如：工業應用、研發、半（bàn）導體、分析和塗料工業中:
 一般真空（kōng）壓力測量
 前級管道和粗抽壓力測量
 氣體回填測量和控製
 質譜儀控製
 啟動超高真空電離 (UHV) 規
 係統過程控製
 檢測異常壓力（lì），利用繼電器（qì）設（shè）定點采取妥（tuǒ）當的安全措施
 控製係（xì）統（tǒng）壓力
P/N: 230045V02 和 230047V02 含有 Parylene-HT® 塗層傳感器。

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