PTR90N萊寶（bǎo）真（zhēn）空計參（cān）數（shù）說明

變送器開箱（xiāng）之前，檢查包裝材料的各個表麵，查看是否存在運（yùn）輸損壞。檢查可見損壞。如果發現損壞，請立即通知承運方。
請確認變（biàn）送（sòng）器包裝中含有以下物件：
 1 件PTR 90 N PENNINGVAC 變送器
 1 件中文簡式手（shǒu）冊 (P/N: 300544671_002)
 1 件德文簡式手冊 (P/N: 300544671_001)
 1 件產品檢驗（yàn）測試報（bào）告
 1 件通過按鈕調整設定時需用的銷 (僅適用（yòng）於 P/N: 230085V02、230071V02、230072V02、230088V02)。
如果缺失任何物件，請聯係 Leybold。
7 300544652_002_C0 - 10/2016 - © Leybold
2 說明
PTR 90 N PENNINGVAC 係列真空變送器可提供從 1×10-8 毫巴到 1000 毫巴的較大測量範圍，基於對 MEMS Pirani 矽芯片傳感（gǎn）器（qì）上小空腔中的（de）熱傳（chuán）導性和冷陰極 (CC) 電離電流的測量結果。
配備 RS232 數字（zì）通信接口 (P/N: 230088V02) 或（huò） EtherCAT 數字通信接口 (P/N: 230089V02) 的變送（sòng）器版本可設（shè）置變送（sòng）器參數，並可提供實時壓力測量結果。更多詳（xiáng）情，請（qǐng）參閱通信協議 300544663 (RS232) 和 300544664 (EtherCAT)。配備集成（chéng）式觸屏顯示器 (P/N: 2300085V02) 的變（biàn）送器版本能夠監控基（jī）本的變送器參數。更多詳情（qíng），請參（cān）閱第 6.4 章。
每台變送器在出廠前已逐台進行全量程測試。測試報告隨附在包裝中。此外，每個變送器壓力讀數均在操（cāo）作溫度範圍內逐一得（dé）到溫度補償。
這些變送器（qì）用途廣泛，可用作獨立裝置，或用於 Graphix 控製器 (P/N: 230680V01、230681V01、230682V01) 和 Display 控製器 (P/N: 230001、230024、230025)。所有 PENNINGVAC 變（biàn）送器均可向（xiàng）下兼（jiān）容 Graphix、Display 和 Center 控（kòng）製（zhì）器。
變送器（qì）擁有多達三個機械（xiè）繼電器，這些繼電器可用於過程控製，例如閥或（huò）泵的聯鎖。模擬電壓輸出可連接至外部模擬設（shè）備，獲取壓力讀數，或進行壓力控製。
傳感器技術
變（biàn）送器含有兩個獨立的傳感（gǎn）器元件。MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微電子機械係統)) 傳感器元件基於熱（rè）傳導性的測量結果。MEMS Pirani 傳感器包含一個帶有熱電阻元件的矽芯（xīn）片，其構（gòu）成空腔的（de）一個表麵。芯片頂部的封蓋形成空腔的另一表麵。由於傳感器（qì）的幾何形狀，空（kōng）腔內無法進行對流，因此，傳感器對安裝位置並不敏感。通過擴散，氣體分子隻到達熱元件，在此處可測量氣體的熱損耗。
冷（lěng）陰極反磁（cí）控管采用高電壓陽（yáng）極、陰極和永磁體。電子向陽極加速，並將通過碰撞而使分（fèn）子離子化。磁場使電子偏轉（zhuǎn），從（cóng）而使電子在穿過磁場前往陽極時做螺旋（xuán）形（xíng）移（yí）動。這種螺旋運動增大了電子遇到分子並使分子離子化的機（jī）會。
分子離（lí）子化（huà）產生電（diàn）流，該電流是壓力的函數。這兩個傳感（gǎn）器元件（jiàn）均極為堅固耐用（yòng），可承受較高重力和瞬間空氣湧入。
應用
變送器可用於眾多不同（tóng）領域（yù）的真空應用中（zhōng），如：工業（yè）應用、研發、半（bàn）導體、分析和塗（tú）料工業（yè）中（zhōng）:
 一般真空（kōng）壓力測量
 氣體回填測量和控製
 塗（tú）料
 質譜儀（yí）控製
 係統過程控製（zhì）
 檢測（cè）異常壓力，利用設定點繼電器采取妥當的安全（quán）措施
 控製係統壓力

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