萊（lái）寶TTR101N真空計參數

變送器開（kāi）箱之前，檢查（chá）包裝材料的各個表麵，查看是否存在運輸（shū）損壞。檢查可見損壞。如果發現損（sǔn）壞，請立即通知承運方。
請確認變送器包（bāo）裝中含有以下物件：
 1 件TTR 101 N THERMOVAC 變送器
 1 件中文簡（jiǎn）式手（shǒu）冊 (P/N: 300544668_002)
 1 件德文（wén）簡式手冊 (P/N: 300544668_001)
 1 件產品檢驗測試報告
 1 件通過按鈕（niǔ）調整設定時需用的（de）銷 (僅適用於（yú） P/N: 230350V02、230351V02、230352V02、230353V02、230354V02、230355V02、230356V02、230366V02)
如果缺失任何（hé）物件，請聯係 Leybold。
6 300544655_002_C0 - 10/2016 - © Leybold
2 說（shuō）明（míng）
TTR 101 N THERMOVAC 係列真空變送器可提供從 5×10-5 到 1500 毫巴的（de）較大測量範圍，基於對 MEMS Pirani 矽（guī）芯（xīn）片傳感器上小空腔中的熱傳導性和壓（yā）電傳感器中矽膜的（de）機械偏轉的測量結果。
配備 RS232 數字通信接口 (P/N: 230366V02) 和 EtherCAT 數字通信接口 (P/N: 230702V02) 的（de）變送器（qì）版本可設置（zhì）變（biàn）送器（qì）參數，並可提供實時壓（yā）力測量（liàng）結果。更多詳情（qíng），請參閱通信協議 300544663 (RS232) 和 300544664 (EtherCAT)。配備集成式觸屏顯示器（qì） (P/N: 230354V02、230355V02、230356V02) 的變送器版本能夠監控基本的變送器參數（shù）。更多詳情，請參閱第 0 章。
TTR 101 N THERMOVAC 變送器用途廣泛（fàn），可用作獨立裝置，或用於 Graphix 控製器 (P/N: 230680V01、230681V01、230682V01) 和 Display 控製器 (P/N: 230001、230024、230025)。 所有 THERMOVAC 變送器均可（kě）向下兼容（róng） Graphix、Display 和 Center 控製器（qì）。
每（měi）台變送器在出廠前已逐台進行全量程測試。測試報告隨附在包（bāo）裝中。此外，每個變送器壓力讀（dú）數均在操作溫度範圍內逐（zhú）一得到溫度補償。
變送器擁有多達三個機械繼電器，這些繼電器可用於過程（chéng）控製，例如閥或泵的聯鎖。模擬電壓輸出可連接至外部模擬設備，用於獲取壓力讀數，或進行壓力控製。
傳感器技（jì）術（shù）
變送器含有（yǒu）兩個獨立（lì）的傳感器元件（jiàn）。MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微電子機械係（xì）統)) 傳感器元件基於熱傳導性的測量結果。MEMS Pirani 傳感器包含一個帶有熱電阻元件的（de）矽芯片，其構成空腔的一個表麵。芯（xīn）片頂部的封蓋（gài）形成（chéng）空腔的另一表麵。由於傳（chuán）感器（qì）的（de）幾何形狀，空腔內無法進行（háng）對流，因此，傳感器對安裝位置（zhì）並不敏感。通過擴散，氣體分子隻到達熱元件，在此處可測量氣體的熱損（sǔn）耗。
壓（yā）電傳感器基於相對於集（jí）成式參考真空的矽膜機械（xiè）偏轉測量結果。壓電傳感器獨立於氣體成分和（hé）濃度來測量真實的絕（jué）對壓力。
這兩個傳感器元件都極為堅固耐用，可承受（shòu）較高（gāo）重力和瞬間空氣湧入。
應用
變送器可（kě）用於眾多不同（tóng）領域的真空應用中，如：工業（yè）應用（yòng）、研發、半導體、分析和塗料工業中:
 真空（kōng）鎖壓力控製
 一般（bān）真空壓力測量
 前級（jí）管道（dào）和粗抽壓（yā）力測量（liàng）
 氣體回填測（cè）量和控製
 質譜（pǔ）儀控製
 啟動（dòng）超高真空電離（lí） (UHV) 規
 係統過程控製
 檢測異常壓力（lì），利用設定點繼電器采取妥（tuǒ）當的（de）安全措施
 控製係統壓力

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