TTR96N萊寶真空計

 TTR 91 N 和 TTR 96 N THERMOVAC 係列真空變送器可提供從 5×10-5 到 1000 毫巴（bā）的較大測量範圍，基於（yú）對 MEMS Pirani 矽芯片傳感器上小空腔中的熱傳導性的測量結果。
TTR 91 N 和 TTR 96 N THERMOVAC 變送器用（yòng）途廣泛，可（kě）用作獨立裝置，或用於 Graphix 控製器 (P/N: 230680V01、230681V01、230682V01) 和 Display 控製器 (P/N: 230001、230024、230025)。所有 THERMOVAC 變送器均可向下兼容 Graphix、Display 和 Center 控製器。
每台變送器在出廠前（qián）已逐（zhú）台進行全量（liàng）程測試。測試報告（gào）隨附在包裝中。此外，每個變送器壓力讀數均在操（cāo）作（zuò）溫度範圍內（nèi）逐一得到（dào）溫度補償。
變送器擁（yōng）有多達（dá）三個機械（xiè）繼電器，這些繼電器可（kě）用於過程控製，例如閥或泵的聯鎖。模擬電壓輸出可（kě）連（lián）接至外部模擬設備，用於獲取壓力讀數，或進行壓（yā）力控製。
傳感（gǎn）器技術
變送（sòng）器具備單獨的 MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微電子機械係統)) 傳感器 元件，元件測量基於（yú）熱傳導性的測量。MEMS Pirani 傳感器包含一個帶有熱電阻元件的（de）矽芯片，其構成空腔的（de）一個表麵。芯片頂部的（de）封蓋形成空腔的另（lìng）一表（biǎo）麵。由於傳感器的幾何形狀，空腔內無法進行對流，因此，傳感器對安裝位置並不（bú）敏感。通過擴散，氣體分子（zǐ）隻到達熱（rè）元件，在此處可測量（liàng）氣體的熱（rè）損耗。傳感器元件極為堅（jiān）固耐用（yòng），可承受較高重力和瞬間空氣湧入。
應用
變送器（qì）可用於眾多不同領域的真（zhēn）空應用中，如（rú）：工業應用（yòng）、研發、半導體、分析和塗料工業中:
 一般真空壓力測量
 前級管道和（hé）粗抽壓力測量
 氣（qì）體回填測量和控製
 質譜儀控製
 啟動超（chāo）高真空電離 (UHV) 規
 係統過程（chéng）控（kòng）製
 檢測異常壓力，利用繼電器設定點采取妥當的安全措施
 控製係統壓（yā）力
P/N: 230045V02 和（hé） 230047V02 含有（yǒu） Parylene-HT® 塗層傳感器。
Parylene-HT® 是保形塗層，氣體阻隔性佳，不釋（shì）氣。與（yǔ）標準 MEMS Pirani 相比（bǐ），Parylene-HT® 塗層（céng）傳感器對（duì）各種（zhǒng）腐蝕性氣體的耐受性更強。塗（tú）層覆蓋整個傳感器芯片，包括（kuò）接線。因此（cǐ），暴露於處理氣體的材料隻有 Parylene-HT® 塗層（céng）。

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