萊寶TTR916N真空計

TTR 911 N 和 TTR 916 N THERMOVAC 係（xì）列真空變（biàn）送器可提供從 5×10-5 到 1000 毫巴的較大測量（liàng）範圍（wéi），基於對 MEMS Pirani 矽芯片傳感器上小空腔中的熱傳（chuán）導性的測量結果。
配備 RS232 數字通信接口 (P/N: 89660V02) 或 EtherCAT 數字通信接口（kǒu） (P/N: 230700V02、230701V02) 的變送器版本可設置變送器參數，並可提供實時壓力測量結果（guǒ）。更多詳情，請參閱通信協議 300544663 (RS232) 和 300544664 (EtherCAT)。配備集成式觸（chù）屏顯示器 (P/N: 8965402、89656V029) 的變送器版本能夠監控基本的變送器參數。更多詳情，請參閱第 6.4 章。
TTR 911 N 和 TTR 916 N THERMOVAC 變送器用（yòng）途廣泛，可用作（zuò）獨（dú）立裝置，或用於 Graphix 控製器 (P/N: 230680V01、230681V01、230682V01) 和 Display 控製器 (P/N: 230001、230024、230025)。 所有 THERMOVAC 變送器均可向下兼容 Graphix、Display 和（hé） Center 控製器。
每台（tái）變送（sòng）器在出（chū）廠（chǎng）前已逐台進行全量程測試（shì）。測試報告隨（suí）附在包裝中（zhōng）。此外，每個變送器壓力讀數均在（zài）操作溫度範圍（wéi）內逐一得到溫度補償。
變送器擁有多達三個機械繼電器，這些繼（jì）電器可用於過程（chéng）控製，例如閥或泵的聯鎖。模擬（nǐ）電壓輸（shū）出可連（lián）接至外部模擬設備，用於獲取壓力（lì）讀數，或進行（háng）壓力控製（zhì）。
傳感器技術（shù）
變送器具（jù）備單（dān）獨的 MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微電子機械係統)) 傳感器元件，元件（jiàn）測量基於熱傳導性。MEMS Pirani 傳感器包含一（yī）個帶有熱電阻元件的矽芯片，其構成空腔的一個表麵。芯片頂部的封蓋形成空腔的另一表（biǎo）麵。由於傳感器的幾何形狀（zhuàng），空腔內無法進行對流，因此，傳感器對安裝（zhuāng）位置並不敏感。通過擴散，氣體分子隻到達熱元（yuán）件，在此處可測（cè）量氣體的熱損耗。傳感器元件極為堅固耐用，可承受較高重力和瞬間空（kōng）氣湧入。
應用
變送（sòng）器可用於眾多不同領域的真空（kōng）應用中，如：工業應用、研發、半導體、分析和塗料工業中:
 一般真空壓力測量
 前級管道和粗抽壓力測量
 氣體回填測量和控製
 質譜儀控製
 啟動超高真空電離（lí） (UHV) 規
 係統過程控製
 檢測異常壓力，利用繼電器設定點采取妥當的安全措施（shī）
 控製係統壓（yā）力
P/N: 89656V02 和 230701V02 含有 Parylene-HT® 塗層傳（chuán）感器。
Parylene-HT® 是保形塗層，氣體阻隔性佳，不釋氣。與標準 MEMS Pirani 相比（bǐ），Parylene-HT® 塗層傳感器對各種腐蝕性氣體的耐受（shòu）性更強。塗層覆蓋整個傳感器芯片，包括接線。因此，暴露於處理氣體的材料隻有 Parylene-HT® 塗層

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