更新时间:2024-07-04
真空计PTR200N莱宝真空(kōng)泵PTR 200 N PENNINGVAC 系(xì)列(liè)真空变送器可提供从 1×10-8 毫巴至 1500 毫巴的较大测量范围,基于对 MEMS Pirani 硅芯(xīn)片传感器上小空腔(qiāng)中的热传导性、压电(diàn)传感器中硅膜的机械偏转和冷阴(yīn)极 (CC) 电(diàn)离电流的测量结果。PTR 200 N PENNINGVAC 变送器配备 RS232 数字通信接口,可设定变送器参数并提供实时压(yā)力测量。更
品牌 | Leybold/德国莱宝 | 输送介质 | 其他 |
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泵轴位置 | 其(qí)他 | 叶轮数目 | 其他 |
应用领域 | 医疗卫生,生物产业,能源,电子,印刷包装 |
真空计PTR200N莱宝真(zhēn)空泵
PTR 200 N PENNINGVAC 系列真空变送器可提供从 1×10-8 毫巴至 1500 毫巴(bā)的较(jiào)大测量范围,基于对 MEMS Pirani 硅芯片传感器上小空腔中的热传导性、压电传感器中硅膜的机械偏转和冷阴极 (CC) 电离电流(liú)的测量结果。
PTR 200 N PENNINGVAC 变送器配备 RS232 数字通信接口,可设定变送器参数并提供实时压力(lì)测(cè)量。更多详情,请参阅通信协(xié)议 300544663 (RS232)。
每台变送器在出厂前已逐台进行全量程(chéng)测试。测试报告随附在包装中。此(cǐ)外,每个变送器压力读数均在操作温度范围(wéi)内逐一得(dé)到温度补偿(cháng)。
变送器拥有三个机械继电器,这些(xiē)继电器可用于过程控制,例(lì)如阀或泵的联锁。模(mó)拟电压输出可连接至外(wài)部模拟(nǐ)设备,获取压力读数,或进行压力控制。
传感器技术
PTR 200 N PENNINGVAC 变送器含有两(liǎng)个独立的传感器元(yuán)件。MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微电(diàn)子(zǐ)机械系统)) 传感器元件基于热传导性的测量结果(guǒ)。MEMS Pirani 传感器包含一个带有热电阻元件的硅芯片,其构成空腔的一个表面。芯片顶部的封(fēng)盖形成空腔的另一表面(miàn)。由于传感器的几何形状,空腔内(nèi)无法进行对流,因此,传感器对安装位置并不敏感。通过扩散,气体分子只到达热元件,在(zài)此处可测(cè)量气体的(de)热损耗。
冷(lěng)阴极(jí)反磁控管采(cǎi)用高(gāo)电(diàn)压阳极、阴极和永磁体(tǐ)。电子向阳极加速,并将通过碰撞而使分(fèn)子离子化。磁场使电子偏(piān)转,从而使(shǐ)电子在穿过磁场前往阳极时做(zuò)螺旋形移(yí)动。这种螺(luó)旋(xuán)运动增大(dà)了(le)电子遇到分子并使分子离子化的机会。
分子离子化(huà)产生电(diàn)流,该电流是(shì)压力的函数。这两个传感器元件均极为坚固耐用,可承受较高重力和瞬间空气涌入。
应用
变送器(qì)可用于众多不同领域的真空应用中(zhōng),如:工业应用、研发、半导体、分析和(hé)涂料工业中:
一般真空压力测量
气体回填(tián)测(cè)量和(hé)控制
涂料
质谱(pǔ)仪控制
系统过程控(kòng)制(zhì)
检测异常压力,利用设定点继电器采取妥当的安全措施
控制系统压力
真空计PTR200N莱宝真空泵