leybold莱宝真空计TTR200NTHERMOVAC 变送器（qì）

leybold莱宝真空计TTR200NTHERMOVAC 变送器

TTR 200 N THERMOVAC 系列真（zhēn）空变送器可提供从（cóng） 5×10-5 毫巴至 1500 毫巴的较大测量范围，基于对 MEMS Pirani 硅芯片传感器上小空腔中的热传导性和压电（diàn）传感器中硅膜（mó）的机械偏转的（de）测量结果。

变（biàn）送（sòng）器配备 RS232 数字通信（xìn）接口，可设定变送器参数并（bìng）提供实时压力测量。更多详（xiáng）情，请参阅通信协议 300544663 (RS232)。

每台变送器在出厂前已逐台（tái）进（jìn）行（háng）全（quán）量程测试。测试报告随附在包装中。此外，每个（gè）变（biàn）送器压力读数均在操作温度范（fàn）围内逐一（yī）得到（dào）温度补偿。

变送器拥有三个机（jī）械继（jì）电器，这些继电器（qì）可用于过程控制，例如阀或泵的联锁。模拟电压输（shū）出可（kě）连接至外部模拟设（shè）备，用（yòng）于（yú）获（huò）取压力读数，或进行压力控制。

传感器技术

变送器含有两个独立的传感器（qì）元件。MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微电子机械系统)) 传感器元件基于热传导性的测量结果。MEMS Pirani 传（chuán）感（gǎn）器包含一（yī）个带有热电阻元件的硅（guī）芯片，其构成空（kōng）腔的一个表面。芯（xīn）片顶部的封（fēng）盖形（xíng）成空（kōng）腔的另一（yī）表面。由于传感器的几何形状，空腔内无法（fǎ）进行对流，因（yīn）此，传感（gǎn）器对安装位置并（bìng）不敏感。通过扩散，气体（tǐ）分（fèn）子只到达热元件，在此处可测量气体的热损（sǔn）耗。

压电传（chuán）感器基于对硅膜机械偏转（zhuǎn）的（de）测量。硅膜的一侧暴露于环境压力，另一侧暴露于真（zhēn）空。

压电传感（gǎn）器可测量无关于（yú）气体成分和浓度（dù）的真实差压。

这两个传感（gǎn）器元件都极为坚固耐用，可承受较（jiào）高重力和瞬间空气涌入。

应（yīng）用（yòng）

差分压电传感器将始终（zhōng）相对于环境压（yā）力进行精（jīng）确（què）的测量，不论环境条件如何改变。这使（shǐ）其成为以下高精度控制的理想备（bèi）选:

- 真空锁 (确保精确快（kuài）速的排气并防止真空锁受到空气污染)

- 相对于环境（jìng）的腔室（shì）超压和欠压控制。

变送器可用于众多不同领域的真空应用中，如：工业应用、研发、半导体、分析和涂料工业中:

 真空锁压力控制

 一般真空压力测量

 前级管道和粗抽压力测量

 气体回填测量和控制

 质谱仪控制

 启动超高真空电离 (UHV) 规

 系统过程（chéng）控制

 检测异常压力，利（lì）用设定点继电器采取（qǔ）妥当的（de）安全措（cuò）施

 控制系统压力

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